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微透镜母模

基本信息

申请号 CN201921285847.3 申请日 -
公开（公告）号 CN210666082U 公开（公告）日 2020-06-02
申请公布号 CN210666082U 申请公布日 2020-06-02
分类号 G02B3/00(2006.01)I 分类 光学;
发明人 黄玲玲 申请（专利权）人 北京万应科技有限公司
代理机构 北京信诺创成知识产权代理有限公司 代理人 北京万应科技有限公司
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例公开了一种微透镜母模，其包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，相邻两排金属半球部之间设置有间隙，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻金属半球之间具有空隙，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属连接层贴合在所述衬底上，所述金属半球固定在金属连接层上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度、高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用电镀和高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。