一种片式结构宽域氧传感器的制备方法

基本信息

申请号 CN201610363218.2 申请日 -
公开(公告)号 CN106018526A 公开(公告)日 2016-10-12
申请公布号 CN106018526A 申请公布日 2016-10-12
分类号 G01N27/409(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 肖建中;罗敏 申请(专利权)人 昆山南悦传感技术有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 代理人 聂启新
地址 215300 江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路99号8号房
法律状态 -

摘要

摘要 一种片式结构宽域氧传感器的制备方法:制备多孔扩散层浆料、牺牲材料浆料、Pt电极浆料以及绝缘层浆料、氧化锆流延生坯若干;将第一Pt电极和第二Pt电极印刷在第一氧化锆生坯层上下两面,将牺牲材料浆料印刷在第二Pt电极上面;将第三及第四Pt电极印刷在第二氧化锆生坯层上下面,将多孔扩散层浆料印刷在第三Pt电极上面;(4)将牺牲材料浆料印刷在第三氧化锆生坯层上表面;将绝缘层浆料印刷在第四氧化锆生坯层下面,将绝缘层浆料印刷在第五氧化锆生坯层上面;将加热电路印刷在第五氧化锆生坯层上绝缘层表面;将第一至第五氧化锆层按照从上至下顺序叠压并等静压压制使其粘和在一起,进行脱脂和烧结。本方法简单实用,性能优良。