一种晶圆片高效分选的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022294491.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213887308U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213887308U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 韦胜;卢凯;盛育 | 申请（专利权）人 | 苏州禾裕融资租赁有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区跨塘分区金达路18号厂房北部一楼、二楼、三楼局部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆片分选机设备技术领域，尤其是一种晶圆片高效分选的清洗装置,包括支撑座，支撑座的底部固定安装有若干支脚，支撑座的顶部固定安装有清洗台，清洗台上开设有若干放置槽，清洗台的两侧均安装有清洗机构，清洗机构包括往复螺杆，往复螺杆转动安装在清洗台的外侧，往复螺杆上螺纹安装有第二螺纹座，第二螺纹座的外侧与清洗台滑动连接，第二螺纹座的顶部固定安装有喷水座，喷水座的进口端固定安装有进水软管，喷水座的出口端固定安装有喷头，两个往复螺杆的外端均固定安装有链轮，两个链轮之间通过链条传动连接。本实用新型通过喷头将水均匀喷洒到清洗台上，从而对清洗台上的放置槽清洗干净，清理范围广，效率更高。 |
