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射频谐振器电极和薄膜组合及其制造方法

基本信息

申请号 CN201810005261.0 申请日 -
公开（公告）号 CN108259019B 公开（公告）日 2021-07-20
申请公布号 CN108259019B 申请公布日 2021-07-20
分类号 H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 分类 基本电子电路;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 珠海晶讯聚震科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000 广东省珠海市高新区南方软件园Bee
法律状态 -

摘要

摘要 一种厚度在200‑500nm范围内的压电谐振膜，其中厚度可以控制在1％以内；该薄膜夹裹在电极之间以形成谐振器，其中至少一个电极包括铝，因此归功于电极的重量使阻尼最小化。