射频谐振器与滤波器

基本信息

申请号 CN201711482051.2 申请日 -
公开(公告)号 CN108566177B 公开(公告)日 2021-12-21
申请公布号 CN108566177B 申请公布日 2021-12-21
分类号 H03H9/17(2006.01)I;H03H9/56(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 卓尔·赫尔维茨 申请(专利权)人 珠海晶讯聚震科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000广东省珠海市高新区南方软件园Bee
法律状态 -

摘要

摘要 一种滤波器封装元件,包括夹裹在下电极与一组上电极之间的一组压电薄膜:各个压电薄膜和上电极通过绝缘材料分隔开来;下电极连接至一转接板,下电极和转接板之间具有第一腔体;滤波器封装元件还包括具有既定的厚度的硅晶圆,与在硅晶圆和硅盖之间的一组上层腔体一起结合在上电极上方;每个上层腔体与一组的压电薄膜中一个居中对齐,上层腔体四周为包括绝缘材料的侧壁。