具有改进的腔体的单晶压电射频谐振器和滤波器
基本信息
| 申请号 | CN201810641112.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108923766B | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN108923766B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | H03H9/205（2006.01）I;H03H9/48（2006.01）I;H03H9/52（2006.01）I;H03H9/56（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 珠海晶讯聚震科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 俞梁清 |
| 地址 | 519000广东省珠海市高新区南方软件园Bee+ | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种FBAR滤波器装置，包括一个谐振器阵列，每个谐振器包括夹在第一和第二电极之间的单晶压电薄膜，其中第一电极由空气腔体上的支撑薄膜支撑，所述空气腔体被嵌入硅盖上的二氧化硅层中，所述空气腔体具有穿过硅盖并进入空气腔体中的硅通孔，所述二氧化硅层中的空气腔体的侧壁被由能抵抗二氧化硅蚀刻剂的材料形成的屏障所限定，其中支撑薄膜与第一电极之间的界面是光滑和平坦的。 |
