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一种等离子刻蚀用夹紧装置

基本信息

申请号 CN201120118281.2 申请日 -
公开（公告）号 CN202067763U 公开（公告）日 2011-12-07
申请公布号 CN202067763U 申请公布日 2011-12-07
分类号 H01J37/32(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 成品奇;李鹏飞;王辉;胥健奇;张茂胜 申请（专利权）人 江苏伯乐达光伏有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 江苏伯乐达光伏有限公司
地址 224051 江苏省盐城市亭湖区兴洋大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出的等离子刻蚀用夹紧装置包括第一夹具、与第一夹具形状相同的第二夹具、两个连接杆、两个紧固元件，第一夹具和第二夹具的两侧均具有孔洞，两个连接杆的一端分别固定在第一夹具的两个孔洞内，两个连接杆的另一端分别穿过第二夹具的两个孔洞，所述第二夹具通过紧固元件与两个连接杆活动连接，等离子刻蚀用夹紧装置还包括两个表面光滑的石英夹板，石英夹板能放入第一夹具和第二夹具之间，并且两个石英夹板分别与第一夹具和第二夹具紧密接触。本实用新型提供的等离子刻蚀用夹紧装置中的石英板在长期使用过程中，刻蚀中的高温等离子体粒子不会对石英板造成边缘破损，更不会产生石英颗粒而保证真空泵运转正常。