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一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺

基本信息

申请号 CN201110209139.3 申请日 -
公开（公告）号 CN102270702A 公开（公告）日 2011-12-07
申请公布号 CN102270702A 申请公布日 2011-12-07
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 林涛;李勇;陈清波;冯帅臣;张耀明;张茂胜 申请（专利权）人 江苏伯乐达光伏有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 江苏伯乐达光伏有限公司
地址 224051 江苏省盐城市亭湖新区兴洋大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺，其工艺步骤包括：对白斑单晶硅片进行高温处理，使所述白斑单晶硅片表面残留的杂质挥发；对高温处理后的所述白斑单晶硅片进行制绒工艺，去除单晶硅片表面的白斑。本发明提供的制绒白斑单晶硅片的返工工艺，通过对白斑单晶硅片进行高温处理，使其表面残留的杂质挥发，去除杂质的白斑单晶硅片在之后进行的制绒工艺中有利于进行腐蚀，能够有效去除白斑单晶硅片表面的白斑，大大提高了返工硅片的良品率。