选择性发射极晶硅太阳能电池的一次性扩散工艺
基本信息
| 申请号 | CN201110209124.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102270701A | 公开（公告）日 | 2011-12-07 |
| 申请公布号 | CN102270701A | 申请公布日 | 2011-12-07 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 林涛;陈清波;冯帅臣;姚绍荣;张耀明;张茂胜 | 申请（专利权）人 | 江苏伯乐达光伏有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏伯乐达光伏有限公司 |
| 地址 | 224051 江苏省盐城市亭湖新区兴洋大道1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种选择性发射极晶硅太阳能电池的一次性扩散工艺，其工艺步骤包括：在硅片上印刷硅墨；向扩散炉内通入氧气，使所述硅片以及所述硅墨的表面均形成二氧化硅层；向所述扩散炉内通入三氯氧磷进行扩散，使印刷有所述硅墨的区域形成重掺杂区，在所述硅片上未印刷所述硅墨的区域形成浅掺杂区。本发明提供的选择性发射极晶硅太阳能电池的一次性扩散工艺能够进行大规模工业生产，工艺过程简单，成本较低。 |
