一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置
基本信息
| 申请号 | CN03116276.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1449872A | 公开（公告）日 | 2003-10-22 |
| 申请公布号 | CN1449872A | 申请公布日 | 2003-10-22 |
| 分类号 | B08B11/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 侯晓远;钟高余;王晓军;熊祖洪;史华忠;张松涛;何钧;丁训民 | 申请（专利权）人 | 上海复孵科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人 | 上海复旦辰光科技有限公司 |
| 地址 | 200433上海市邯郸路220号科学楼309室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明是一种利用微波产生紫外线/臭氧或氧等离子体，用以清除材料表面有机物、尘埃和水气污染的方法及其装置。这种方法适用于清洁绝缘体和半导体等材料的表面，特别适用于清洁导电玻璃的表面。本发明可利用普通微波炉，经改造得到微波臭氧/氧等离子体处理的装置。该装置还可以用于消毒、清除有机异味等。 |
