电镀挂具和电镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202110289988.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114381789A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114381789A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | C25D17/08（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 王东升;孔跃春;王国峰 | 申请（专利权）人 | 青岛惠芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市百瑞专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 邢涛 |
| 地址 | 266200山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了电镀挂具和电镀装置，所述电镀挂具包括下载板、正面固定结构、背面固定结构、第一导电结构、第二导电结构和阴极接口，所述下载板的正面设有用于放置晶圆的第一晶圆槽，所述下载板的背面上设有放置晶圆的第二晶圆槽，正面固定结构、第一导电结构与第一晶圆槽对应，背面固定结构、第二导电结构与第二晶圆槽对应。本申请通过在电镀挂具的正反两面同时设置容纳两种晶圆的晶圆槽，且对应设置固定结构和导电结构，使得电镀挂具能够同时固定两个晶圆，且使两个晶圆进行电镀；而且固定在电镀挂具正面和反面的晶圆型号可以不同，这样电镀挂具可同时使不同型号的晶圆进行电镀，提高了电镀挂具的适用性。 |
