一种低箝位保护器件结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811351628.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109346465A | 公开（公告）日 | 2019-02-15 |
| 申请公布号 | CN109346465A | 申请公布日 | 2019-02-15 |
| 分类号 | H01L27/02;H01L29/06;H01L21/8232 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 顾彦国 | 申请（专利权）人 | 合肥诺华微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥诺华微电子有限公司 |
| 地址 | 230094 安徽省合肥市高新区创新产业园二期F1楼607/608室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明半导体防护器件技术领域，涉及一种低箝位保护器件结构及其制作方法，在第二导电类型外延层内设有将器件分割成三个区域的第一导电类型隔离结构；在第一区域内形成低电容二极管D1，第二区域内形成低电容二极管D2，第三区域内形成放电管TSS，在第一导电类型隔离结构内形成TVS稳压二极管Z1，TVS稳压二极管Z1与放电管TSS并联，且与二极管D2串联，且二极管D2的正极与TVS稳压二极管D1的负极连接，同时接I/O端，二极管Z1的正极与二极管D1的正极均接地；本发明通过增加放电管TSS结构，在不增加器件面积，和工艺成本的基础上，降低了箝位电压，增加了电流能力，进而提高高速数据传输通道端口的ESD能力，保证数据完整性，同时防止耗散功率过高导致烧毁。 |
