一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202210338411.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114749406A | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN114749406A | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 杨路肖;张宏杰;刘建伟;武卫;刘姣龙;祝斌;袁祥龙;雍琪浩 | 申请（专利权）人 | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州高专知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214200江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备，包括底座，所述底座的顶部设置有清洗箱，所述底座的内部固定安装有电机，所述电机的输出端贯穿清洗箱安装有中心轴，所述中心轴的外侧表面固定安装有片盒架，所述片盒架上方的清洗箱内部环绕设置有喷淋口，所述喷淋口上方的清洗箱内壁环绕设置有烘干管，所述清洗箱的一侧表面设置有加热管，所述加热管的下方设置有温控器，所述清洗箱的一侧表面贯穿设置有溢流管。该一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备，首先通过设置的密闭空间，使得硅片清洗过程中不与外界进行接触，同时经过3次纯水喷淋，以及通过加12次旋转高温配合低温交替烘干，大大提高了片盒的整体清洁度。 |
