一种晶圆片用固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202122970170.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216957990U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216957990U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨强;周宏邦;张恒;贾海洋;娄中士;王淼;甄新雷;许晓玲 | 申请（专利权）人 | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆片用固定装置，至少包括：石英舟；固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动。本实用新型通过在晶圆片的上端面设有镂空设置的固定架，固定架可与下置的石英舟共同作用提高晶圆片放置的稳定性，防止晶圆片晃动，降低碎片几率；同时还在每个晶圆片的两侧都设有可用于导流的导板，导板不仅可进一步提高晶圆片的固定，还可使冷风全部沿导流吹进导板形成的导流仓内，加快冷却速度和冷却均匀度，可进一步降低氧施主的产生，提高电阻率测量的准确性；不仅节约退火时间，还可节约能源，降低生产成本。 |
