一种测试单晶硅电阻率的辅助装置
基本信息
| 申请号 | CN202122000064.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216956144U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216956144U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | G01R15/00（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G01R27/02（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李睿;王淼;杨强;马飞;甄新雷;周宏邦;贾海洋;张强;娄中士;张恒 | 申请（专利权）人 | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种测试单晶硅电阻率的辅助装置，该辅助装置包括探针架和探针，探针设置于探针架的一端，探针用于检测单晶硅的电阻率。本实用新型解决了目前现有技术的对单晶硅进行电阻率测量时测量方法测试臂较短，无法测量较大尺寸直径单晶硅样品；若加长测试臂，则会降低测量工作效率，稳定性较差，无法保证测量精度的问题；提供一种测试单晶硅电阻率的辅助装置，该辅助装置可以根据测量的单晶硅样品直径需求对测试臂进行调节，且调节方便，无需进行大量的更换操作，能够有效提升测量效率和测量的准确度，适用于多种不同规格单晶硅样品的测量。 |
