含氟树脂化合物、含其的光刻胶组合物及其合成方法
基本信息
| 申请号 | CN201911403589.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111072836A | 公开（公告）日 | 2020-04-28 |
| 申请公布号 | CN111072836A | 申请公布日 | 2020-04-28 |
| 分类号 | C08F212/14;C08F220/18;C08F220/24;G03F7/039;G03F7/004 | 分类 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物; |
| 发明人 | 吴信;梅崇余;冉瑞成;傅志伟;毛国平 | 申请（专利权）人 | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 地址 | 201612 上海市松江区中心路1158号9号楼4-5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种含氟树脂化合物，其至少包含衍生自含氟丙烯酸酯的第一重复单元、衍生自羟基苯乙烯的第二重复单元、以及衍生自不含氟丙烯酸酯的第三重复单元。本申请还涉及上述含氟树脂化合物的合成方法。本申请还涉及一种包含如上所述的含氟树脂化合物的光刻胶组合物。包含本申请的含氟树脂化合物的光刻胶组合物可用于解决KrF厚膜光刻胶应用过程中出现的胶膜开裂、侧边形貌差及底部缝隙等问题，膜厚范围可达8‑20μm，胶膜透过率高、附着力强、侧边形貌平滑且具有良好的耐刻蚀性等。 |
