一种包含聚对羟基苯乙烯类聚合物和丙烯酸酯共聚物的光刻胶组合物
基本信息
| 申请号 | CN201711401557.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108132584A | 公开（公告）日 | 2018-06-08 |
| 申请公布号 | CN108132584A | 申请公布日 | 2018-06-08 |
| 分类号 | G03F7/039;C08F212/14;C08F212/08;C08F220/18;C08F220/20;C08F220/30 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 毛国平;霍建辉;刘平;陈英博;韩政;孙友松;冉瑞成 | 申请（专利权）人 | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海智晟知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 地址 | 201612 上海市松江区中心路1158号9号楼4-5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种光刻胶组合物，所述光刻胶组合物包含(a)丙烯酸酯共聚物；(b)聚对羟基苯乙烯类聚合物；(c)光生酸剂；(d)酸猝灭剂；和(e)溶剂。本申请的有益效果在于通过增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子链的柔性，并将丙烯酸酯共聚物与传统的聚对羟基苯乙烯类聚合物共混，解决了基于丙烯酸酯的光刻胶在厚度大于或等于6微米时的开裂问题，使得本申请的光刻胶组合物可满足厚度大于或等于6微米且在248nm下光刻和刻蚀的需求。 |
