一种丙烯酸酯共聚物及包含其的光刻胶组合物

基本信息

申请号 CN201711401447.X 申请日 -
公开(公告)号 CN108373520A 公开(公告)日 2018-08-07
申请公布号 CN108373520A 申请公布日 2018-08-07
分类号 C08F220/20;C08F220/32;G03F7/004 分类 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物;
发明人 冉瑞成;魏正华;宋红波;石东昌;韩政;孙友松;毛国平 申请(专利权)人 江苏汉拓光学材料有限公司
代理机构 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 江苏汉拓光学材料有限公司
地址 201612 上海市松江区中心路1158号9号楼4-5楼
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种丙烯酸酯共聚物,所述丙烯酸酯共聚物的合成方法,以及包含所述丙烯酸酯共聚物的光刻胶组合物。本申请的有益效果在于通过增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子链的柔性,解决了基于丙烯酸酯的光刻胶在厚度大于或等于6微米时的开裂问题,使得包含本申请的丙烯酸酯共聚物的光刻胶组合物可满足厚度大于或等于6微米且在248nm下蚀刻的需求。