一种抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸发源
基本信息
| 申请号 | CN202011614127.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112853276A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112853276A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐根保;刘林;王昌华;王宝玉;崔扬扬;吴琦;程超 | 申请（专利权）人 | 凯盛光伏材料有限公司 |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 王琪 |
| 地址 | 233010安徽省蚌埠市燕南路1001号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸发源，属于真空镀膜领域，包括：坩埚、加热筒、水冷套和电极法兰，加热筒内有两级加热图层和测温热电偶；电极法兰上开有冷却水槽道、热电偶线孔、加热线孔和支撑杆孔，侧面设有与冷却水槽道相通的进水口和出水口，测温热电偶的引线穿过热电偶线孔与热电偶接线柱连接，一级加热图层和二级加热图层的引线穿过加热线孔并与加热电极连接，支撑杆穿过支撑杆孔并与磁流体控制器连接。本发明的蒸发源通过直接在加热筒内壁制作两级加热图层，解决了现有技术存在的加热丝易老化、氧化的问题，节约更换加热丝的成本，而且克服了现有技术对坩埚加热不均匀的缺点，解决了热损失及物料受热不均匀的问题。 |
