靶材喷涂装置
基本信息
| 申请号 | CN201621397813.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206337308U | 公开（公告）日 | 2017-07-18 |
| 申请公布号 | CN206337308U | 申请公布日 | 2017-07-18 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄小鸥 | 申请（专利权）人 | 北京华德星科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京市合德专利事务所 | 代理人 | 李本源 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区小沙河东甲11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新公开了一种靶材喷涂装置，它包括靶材转台、行走机构、喷枪支座、喷枪和PLC控制器，所述靶材转台装置在地面上，所述行走机构平行装置在靶材转台的一侧，行走机构顶部安装喷枪支座，所述喷枪安装在喷枪支座上，所述PLC控制器分别与靶材转台、行走机构和喷枪连接。本实用新型通过PLC控制器控制靶材转台的轴向及径向的旋转速度和移动速度、定位行走机构顶部喷枪支座的准确位置、确定喷枪的喷涂量，在PLC控制器的控制下，使工件轴向及径向移动速度、喷枪的喷涂量以及行走机构的位置均可以精确调控。 |
