一种大腔体模块PIND检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202110788341.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113551860A | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN113551860A | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | G01M7/06（2006.01）I;G01M7/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙桂芳;党瑞涛 | 申请（专利权）人 | 西安环宇芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | 成都三诚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 成实;饶振浪 |
| 地址 | 710000陕西省西安市雁塔区电子西街3号#102厂房一、二楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大腔体模块PIND检测设备，其特征在于：包括检测仪本体，传感器，呈L形的安装板，在该安装板前侧壁靠近顶部处设有两个弧形开口，且在该弧形开口内分别设有一个弧形块，所述传感器则固定安装在两个弧形块上等结构。本发明通过安装板、固定管、支撑杆、环形板、摆动板、放置板等之间的相互配合，可实现电机带动放置板左右运动和上下运动，达到震动模块的目的，可有效的提高其震动效率。 |
