立式平板真空镀膜基片夹具

基本信息

申请号 CN201620871182.4 申请日 -
公开(公告)号 CN205974270U 公开(公告)日 2017-02-22
申请公布号 CN205974270U 申请公布日 2017-02-22
分类号 C03C17/00(2006.01)I 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 赵斌 申请(专利权)人 中山市基础科技有限公司
代理机构 深圳市中知专利商标代理有限公司 代理人 深圳市微纳科学技术有限公司;中山市基础科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道燕川朝阳路川东工业园B区北方永发科技园4号一楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种立式平板真空镀膜基片夹具,它是一种用于立式磁控溅射ITO镀膜线玻璃生产工艺中的玻璃夹具,其特征在于它是一个下部设置有开口向下的下卡槽,上部设置有三个开口向上的上卡槽的线性夹具;所述的线性夹具的三个上卡槽,其中一个是位于线性夹具上表面中间位置的中间上卡槽,另外两个上卡槽是位于线性夹具上表面的两个侧边边缘部位的边上卡槽。本实用新型解决了现有的ITO镀膜线基片架下夹子更换不方便,更换强度大,更换效率低的缺陷,可实现双面镀与单面镀膜之间的快速转换,装夹牢固可靠,定位准确、采用本实用新型后可以使得生产效率提升一倍。