一种方棒加热自动线
基本信息
申请号 | CN202121129027.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215187471U | 公开(公告)日 | 2021-12-14 |
申请公布号 | CN215187471U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
分类号 | H05B6/80(2006.01)I;H05B6/76(2006.01)I;H05B6/78(2006.01)I;H05B1/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 张小飞;侯贺;王钢 | 申请(专利权)人 | 大连威凯特科技有限公司 |
代理机构 | 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨瑾 |
地址 | 116033辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、40号-3 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种方棒加热自动线,涉及硅片生产设备,包括支撑座、双链条传输线、左抑制微波泄露装置、微波加热区、右抑制微波泄露装置、电器控制柜构成;本实用新型使用多微波加热器对硅棒方棒进行均匀加热,并通过温度传感器实时检测,可以将硅棒方棒均匀加热至27±3摄氏度,同时使硅棒方棒加热的均匀性好,加热效率高,硅棒温度分布更均匀,从而减少硅棒在切割过程中硅片崩边的比例,有利于降低硅片的加工成本。 |
