一种带氧化物中间层的复合材料制备系统及方法

基本信息

申请号 CN202010817793.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112144018A 公开(公告)日 2020-12-29
申请公布号 CN112144018A 申请公布日 2020-12-29
分类号 C23C14/26(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 吴明忠;朱正录;黄云辉;伽龙;焦鑫鹏 申请(专利权)人 浙江长宇新材料股份有限公司
代理机构 厦门原创专利事务所(普通合伙) 代理人 浙江长宇新材料有限公司
地址 314406浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇新合路6号2幢(长海工业园)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种带金属氧化物中间层的复合材料制备系统及方法,通过真空蒸镀金属氧化物中间层,改善高分子薄膜基材与金属层之间的结合力,金属层与高分子薄膜层能够紧密结合,不易脱落。真空蒸镀金属氧化物效率高,真空度高,得到的金属氧化物镀层的含氧量低,致密度高。此外,本发明将传统蒸发舟系统的圆柱形电极改造成长方体形,并增加蒸发舟的宽度,从而增加电极与蒸发舟的接触面积,提高导电性,减小蒸发舟之间的间距,使得舟温更加稳定,使升华后的气态金属分子更加均匀地铺展到膜上,解决了传统蒸镀金属氧化物蒸发系统不稳定,蒸镀氧化物均匀性差的问题。本发明方法能够较好的控制金属氧化物的厚度,且操作简单,能够适用大规模的生产。