一种稀有气体进气过滤器

基本信息

申请号 CN201920582736.2 申请日 -
公开(公告)号 CN210422957U 公开(公告)日 2020-04-28
申请公布号 CN210422957U 申请公布日 2020-04-28
分类号 F04B39/16 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 吴汉林;朱汪;李桂林 申请(专利权)人 日立压缩机(苏州)有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州寿力气体设备有限公司
地址 215024 江苏省苏州市工业园区长阳街266号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种稀有气体进气过滤器,包括滤壳和滤芯,滤壳包括进气口和出气口,滤壳的进气口和出气口均设有KF法兰结构与外部管道连接,滤芯设有布满孔的外壳。滤壳的进气口和出气口均通过KF法兰结构与外部管道连接,气密性好,连接牢固;布满孔的外壳可使滤芯结构牢固,可承受的机械负荷更高,滤芯抗气流脉冲冲击的能力得到增强,滤纸不容易被气流脉冲冲破。