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一种卧式多弧镀膜室

基本信息

申请号	CN201310434787.8	申请日	-
公开（公告）号	CN103469158B	公开（公告）日	2015-06-10
申请公布号	CN103469158B	申请公布日	2015-06-10
分类号	C23C14/22(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	关秉羽	申请（专利权）人	辽宁北宇真空科技有限公司
代理机构	铁岭天工专利商标事务所	代理人	靳万清
地址	112000 辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，所述安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。上述结构的卧式多弧镀膜室，由于弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，因此在镀膜过程中镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后受到伸长的安装内壁的阻挡不会溅落到弧源头中，不会造成弧源头内金属块和屏蔽罩之间的短路，从而不会影响镀膜室的正常镀膜作业。