一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201310413206.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103451615B | 公开（公告）日 | 2015-12-02 |
| 申请公布号 | CN103451615B | 申请公布日 | 2015-12-02 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 关秉羽 | 申请（专利权）人 | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 铁岭天工专利商标事务所 | 代理人 | 靳万清 |
| 地址 | 112000 辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，具有镀膜机箱体，镀膜机箱体内依次间隔设有放卷室、过渡室、镀膜室和收卷室，所述放卷室内设有放卷轮盘，所述过渡室内设有基膜传送导辊，所述收卷室内设有收卷轮盘和收卷轮盘驱动电机，所述镀膜室的箱体顶壁和底壁上分别设有磁控靶，所述过渡室和镀膜室的数量为多个，交错设置在所述放卷室和收卷室之间；所述镀膜室的箱体顶壁和底壁上设置的磁控靶分别为铬材料磁控靶和石墨材料磁控靶。采用上述连续卷绕真空离子镀膜机可以一次完成固态电容负极碳箔的制备，制备碳箔的成品率高。 |
