一种靶材的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202011089333.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112452946A | 公开（公告）日 | 2021-03-09 |
| 申请公布号 | CN112452946A | 申请公布日 | 2021-03-09 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 文宏福;郭文明 | 申请（专利权）人 | 广东欧莱高新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李少欢 |
| 地址 | 523000广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。 |
