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一种靶材的清洗方法

基本信息

申请号 CN202011089333.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112452946A 公开（公告）日 2021-03-09
申请公布号 CN112452946A 申请公布日 2021-03-09
分类号 B08B7/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 文宏福;郭文明 申请（专利权）人 广东欧莱高新材料股份有限公司
代理机构 北京天盾知识产权代理有限公司 代理人 李少欢
地址 523000广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。