一种高纯铜旋转靶的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010251321.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111451314B | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN111451314B | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | B21J5/06(2006.01)I;B21J5/00(2006.01)I;B21J5/08(2006.01)I;B21C37/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 基本上无切削的金属机械加工；金属冲压; |
| 发明人 | 文宏福;吴本明;张中美 | 申请（专利权）人 | 广东欧莱高新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李少欢 |
| 地址 | 523000广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高纯铜旋转靶的制备方法，包括1)坯锭预处理步骤、2)精密制管步骤、3)靶材复合结构加工与焊接和4)靶材稳定化处理步骤。通过本发明的高纯铜旋转靶的制备方法，得到的晶粒组织均匀，晶粒细化，旋转靶结构稳定性强。 |
