一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910379954.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110158042B | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN110158042B | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李培林;文宏福 | 申请（专利权）人 | 广东欧莱高新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州骏思知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程毅 |
| 地址 | 512000 广东省韶关市武江区创业路5号C幢厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C‑SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。 |
