机械手取片异常处理方法、装置、电子设备和存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202210611818.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114683291A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114683291A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B25J9/16（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 阮正华;孙文彬 | 申请（专利权）人 | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种机械手取片异常处理方法、装置、电子设备和存储介质，其中方法包括：若机械臂为真空状态，则基于针对晶圆盒下一层的取片指令控制机械臂移动到晶圆盒的下一层进行取片操作；若机械臂不为真空状态，则获取晶圆片中心与晶圆承载台中心间的横向偏移和纵向偏移；基于横向偏移和工艺腔腔门的宽度，确定晶圆片是否处于明显偏移状态；若处于明显偏移状态，则更新送回指令，并基于更新后的送回指令将晶圆片送回晶圆盒；否则，更新传入指令，并基于更新后的传入指令将晶圆片放置在工艺腔内的预设位置。本发明通过准确识别各类异常类型并针对性地采用合适的异常处理方式，在提高异常处理效率的同时也可以提高晶圆片放片的精准性。 |
