工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202210603099.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114688011A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114688011A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | F04B49/06（2006.01）I;F16K31/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 阮正华;顾锐 | 申请（专利权）人 | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种工艺腔抽真空控制方法、装置、电子设备和存储介质，其中方法包括：隔离阀与真空泵之间的管道内的压力降至第一预设压力后，控制蝶阀由关闭状态打开至初始开合角度，开启隔离阀，再基于预设打开速度，控制蝶阀打开至全开状态；其中，蝶阀在初始开合角度下，以及蝶阀在基于预设打开速度打开至全开状态的过程中，真空泵受到的冲击压力始终小于第二预设压力；初始开合角度基于连接工艺腔与真空泵的管道的管道直径和第二预设压力确定，预设打开速度基于管道直径、第二预设压力和初始开合角度确定；初始开合角度和预设打开速度均与管道直径成反比、与第二预设压力成正比。本发明在保证抽真空过程的安全性的同时兼顾了抽真空的效率。 |
