首页/ 励福（江门）环保科技股份有限公司/ 专利详情

一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法

基本信息

申请号 CN202010333296.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111560615A 公开（公告）日 2020-08-21
申请公布号 CN111560615A 申请公布日 2020-08-21
分类号 C23F1/46(2006.01)I 分类 -
发明人 陆柏灿;沈天晓;朱振华;何天阳 申请（专利权）人 励福（江门）环保科技股份有限公司
代理机构 广州浩泰知识产权代理有限公司 代理人 励福（江门）环保科技股份有限公司
地址 529040广东省江门市江海区高新西路191号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法，包括以下步骤：蚀刻废液电解、蚀刻液再生、阴极铜回收、铜还原、固液分离、氯气吸收、尾气处理；将一部分酸性蚀刻废液输送至反应釜中进行铜还原，即在隔膜电积法的基础上增加了铁粉还原法，通过加入铁粉，将酸性蚀刻废液中的铜离子还原成铜粉，溶液转换成为氯化亚铁溶液，氯化亚铁溶液用于吸收残余氯气或者作为产品，为电解模块与蚀刻制程溶液的闭路循环系统提供了开路，解决系统盐分过高、杂质累积、蚀刻速率下降的问题，避免了蚀刻制程溶液的增量，提高了铜的回收率。