扩散舟
基本信息
| 申请号 | CN201620958809.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206003753U | 公开（公告）日 | 2017-03-08 |
| 申请公布号 | CN206003753U | 申请公布日 | 2017-03-08 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 葛宜威;顾延桃;王毅 | 申请（专利权）人 | 扬州杰盈汽车芯片有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陶得天 |
| 地址 | 225008 江苏省扬州市维扬经济开发区荷叶西路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 扩散舟。涉及扩散舟，尤其涉及半导体晶圆扩散舟。提供了一种结构简单，提高圆晶片压紧可靠性，提高产品加工质量的扩散舟。所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆位于水平通孔内，所述推杆上均布设有若干定位槽，所述定位杆适配地穿过垂直通孔且位于定位槽内。所述压块上设有螺纹孔，所述推杆通过螺纹连接在压块上。本实用新型方便加工，操作简便。 |
