用于电泳制程的提篮
基本信息
| 申请号 | CN201620969307.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205920954U | 公开（公告）日 | 2017-02-01 |
| 申请公布号 | CN205920954U | 申请公布日 | 2017-02-01 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;C25D13/12(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘洋;葛宜威;王毅 | 申请（专利权）人 | 扬州杰盈汽车芯片有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陶得天 |
| 地址 | 225008 江苏省扬州市维扬经济开发区荷叶西路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 用于电泳制程的提篮。涉及晶圆加工领域，尤其涉及用于电泳制程的提篮。提供了一种结构简单，便于空气流通，方便干燥的用于电泳制程的提篮。所述立板一和立板二之间的底部设有一对对称设置的不锈钢撑杆一，所述撑杆一的内侧面设有若干锯齿槽一，所述锯齿槽一呈三角形，一对撑杆一上对应的锯齿槽一用与放置晶圆，使得相邻晶圆之间的间距为0.5‑1.5cm；所述撑杆一和水平面之间的夹角为30‑60°。还包括不锈钢撑杆二，所述撑杆二位于立板一和立板二之间的上部，所述撑杆二的内侧设有锯齿槽二，所述锯齿槽一与锯齿二一一对应。本实用新型方便加工，节省了成本。 |
