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用于晶圆制造圆片清洗的花篮

基本信息

申请号 CN201620970377.4 申请日 -
公开（公告）号 CN205959965U 公开（公告）日 2017-02-15
申请公布号 CN205959965U 申请公布日 2017-02-15
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘晴晴;葛宜威;王毅 申请（专利权）人 扬州杰盈汽车芯片有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 陶得天
地址 225008 江苏省扬州市维扬经济开发区荷叶西路6号
法律状态 -

摘要

摘要 用于晶圆制造圆片清洗的花篮。涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圆制造圆片清洗的花篮。提供了一种结构简单，提高产能，节约时间的用于晶圆制造圆片清洗的花篮。所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。所述撑杆二具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线。本实用新型方便加工，节省了成本。