一种高远心度紫外扫描场镜

基本信息

申请号 CN202120020766.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214291376U 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN214291376U 申请公布日 2021-09-28
分类号 B23K26/064(2014.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 邹武兵;李璟;段家露;吴飞龙 申请(专利权)人 深圳市韵腾激光科技有限公司
代理机构 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 代理人 赵爱蓉
地址 518000广东省深圳市福永街道桥头社区金港科技园B幢第二层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高远心度紫外扫描场镜,包括沿光束传播方向依次设置的呈双凹结构且焦距为负的第一透镜lens1、呈弯月结构且焦距为正的第二透镜lens2、呈弯月结构且焦距为正的第三透镜lens3、呈弯月结构且焦距为正的第四透镜lens4、呈弯月结构且焦距为正的第五透镜lens5以及呈平板结构的保护镜SG。本实用新型可使得扫描场镜的入瞳成像到无穷远,其扫描视场内的像方质心远心度<0.2°,有助于解决一般激光扫描场镜加工图形时存在的位置偏差、激光钻孔产生锥度孔等加工不精确的问题。