气相沉积炉及填料密封结构的安装方法
基本信息
| 申请号 | CN202110208440.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113025993A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113025993A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 康治政;詹林;王滋川;匡良明 | 申请（专利权）人 | 森松（江苏）重工有限公司 |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 地址 | 226532 江苏省南通市如皋市长江镇（如皋港区）森松路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。 |
