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一种射频电极馈入装置

基本信息

申请号 CN202110414503.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113517168A 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN113517168A 申请公布日 2021-10-19
分类号 H01J37/32（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/505（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 朱双双;刘强 申请（专利权）人 江苏微导纳米科技股份有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 张丹
地址 214000江苏省无锡市新吴区漓江路11号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种射频电极馈入装置，其包括：支撑组件，具有散热间隙；多个放置组件，沿第一方向布置于支撑组件上；每一放置组件包括设置于支撑组件的第一放置件和第二放置件，第一放置件和第二放置件分别位于散热间隙在第一方向上的两侧；及多个电极组件，电极组件与放置组件一一对应，每一电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元，每一电极组件的第一电极单元和第二电极单元分别与对应放置组件的第一放置件和第二放置件相连。本发明的射频电极馈入装置，可以容纳多个石墨舟在支撑组件上，并通过多个电极组件配合多个放置组件，实现多个石墨舟的射频电极馈入，使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟，提高产能，降低单片电池片成本。