特气管路总成及粉末镀膜设备
基本信息
申请号 | CN202110779561.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113418140A | 公开(公告)日 | 2021-09-21 |
申请公布号 | CN113418140A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
分类号 | F17D1/02(2006.01)I;F17D1/20(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 宋海涛;赵昂壁;左敏;李翔 | 申请(专利权)人 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孔祥贵 |
地址 | 214000江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种特气管路总成,包括金属管路、电源和多个导电固定件,多个导电固定件沿金属管路延伸方向依次固定在金属管路上,电源通过导线连接导电固定件,各导电固定件之间设置有间隔,相邻的导电固定件之间的部分金属管路与电源形成回路,以在金属管路上加载电流。通过直接在金属管路上加载电流,将金属管路作为发热元件自发热,代替传统的管路外面套加热套的方式,最高耐温为金属管路的耐温,从而提高了温度上限,结构更加简单,可以直接测量管路温度,从而提高控温精度,整根管路作为一个加热单元,无需考虑弯头的影响,有效降低成本。本发明还公开一种包括上述总成的粉末镀膜设备。 |
