用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜

基本信息

申请号 CN201910418677.X 申请日 -
公开(公告)号 CN110120547B 公开(公告)日 2021-03-09
申请公布号 CN110120547B 申请公布日 2021-03-09
分类号 H01M10/0562(2010.01)I;H01M10/0525(2010.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张渊君 申请(专利权)人 河南固锂电技术有限公司
代理机构 昆明合众智信知识产权事务所 代理人 张玺
地址 453000河南省新乡市红旗区新东产业集聚区新东创业园B6号二层(107以东)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法,包括如下步骤:提供Si衬底;制备Li2O和TiO2的混合物靶材,并在混合物靶材上贴敷La2O3片,在Si上沉积LiLaTiO层;以Li3PO4为靶材,利用反应磁控溅射,在LiLaTiO层上沉积第一LiPON层;以Li3PO4为靶材,利用反应磁控溅射,在第一LiPON层上沉积第二LiPON层;制备Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材;以Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材,利用磁控溅射,在第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层;制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材;以及制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材,利用磁控溅射,在第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。本发明通过晶格结构的渐变设计,达到了较好的能带结构,提高了材料电导率性能,最终能够显著提高全固态锂离子电池的性能。