一种VCSEL激光器件及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201911140336.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112825414A | 公开（公告）日 | 2021-05-21 |
| 申请公布号 | CN112825414A | 申请公布日 | 2021-05-21 |
| 分类号 | H01S5/183;H01S5/0233;H01S5/023;H01S5/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄伟;曹宇星;汪洋 | 申请（专利权）人 | 深圳循光科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郭伟刚 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市光明新区凤凰街道高新技术产业园区邦凯路9号邦凯科技工业园1栋办公楼201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种VCSEL激光器件及其制备方法，该激光器件包括基板，还包括上、下表面均为自由曲面的折射式光学中空透镜，其底部直接粘固于基板上。本发明的制备方法采用预制成阵列的光学透镜，将其直接固置于基板上，再将其切割成单个独立功能的单个VCSEL激光器件。不同于现有技术用事先预切割的带有支撑台的基板，将工程扩束器固定在支撑台上，后分离成单个器件，其产品成本昂贵，出光效率较低，而本发明中透镜除了光学作用外还与基板直接粘接保护芯片和导线等，使用这种折射式的光学透镜的VCSEL器件，透光效率高，生产工艺简单，极大提高了生产效率，有效减少了器件封装体积，也降低了封装成本，提升了产品出光效率和器件质量。 |
