垂直腔面发射激光器（VCSEL）阵列及制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201880099647.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113169519A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113169519A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | H01S5/183 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪洋;贺永祥 | 申请（专利权）人 | 深圳循光科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郭伟刚 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市光明新区凤凰街道高新技术产业园区邦凯路9号邦凯科技工业园1栋办公楼201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开一种VCSEL阵列以及其制造方法。该VCSEL阵列包括基片以及在所述基片上形成规则图案的多个VCSEL结构。沉积定制金属层以电连接选定数量而非全部的所述VCSEL结构。选定数量的所述VCSEL结构形成预定的不规则图案的阵列。 |
