用于串联VCSEL阵列的系统和方法
基本信息
申请号 | CN201980101161.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114667653A | 公开(公告)日 | 2022-06-24 |
申请公布号 | CN114667653A | 申请公布日 | 2022-06-24 |
分类号 | H01S5/183(2006.01)I;H01S5/42(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 姜烔锡;锡瓦库马尔·兰卡;贺永祥;汪洋 | 申请(专利权)人 | 深圳循光科技有限公司 |
代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 518000广东省深圳市光明新区邦凯路9号1栋2楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种VCSEL阵列(200),包括形成在单个芯片上的串联VCSEL子阵列(1,2,3)。每个VCSEL子阵列(1,2,3)包括在半绝缘层(213)上制造的VCSEL发射器。VCSEL的N‑金属层(202,205)通过金属结构(210)与相邻VCSEL的P‑金属层(204,207)电接触。VCSEL子阵列的公共阴极触点电连接于相邻VCSEL子阵列的公共阳极触点。为了减少泄漏,半绝缘层(213)的带隙能级高于输出光束的光子能量。 |
