垂直腔面发射激光器（VCSEL）阵列及制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201880099645.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113169522A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113169522A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | H01S5/42 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪洋;贺永祥 | 申请（专利权）人 | 深圳循光科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郭伟刚 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市光明新区凤凰街道高新技术产业园区邦凯路9号邦凯科技工业园1栋办公楼201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种垂直腔面发射激光器（VCSEL）阵列，包括：基片（603）；在所述基片上形成规则图案的多个VCSEL结构，每个VCSEL结构包括第一反射器区域、有源区域和第二反射器区域，所述多个VCSEL结构能够同时通电；第一金属（604），所述第一金属（604）电连接选定数量而非全部的所述VCSEL结构以使得当仅通电所述选定数量的所述VCSEL结构（VCSEL 1）时，所述选定数量的所述VCSEL结构形成预定的不规则图案的发射器；以及第二金属（605），所述第二金属（605）电连接未与所述第一金属（604）电连接的所述VCSEL结构中的至少某些VCSEL结构（VCSEL 2）。所述第一金属（604）和所述第二金属（605）彼此电绝缘。 |
