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修补破损的石墨舟叶片的方法

基本信息

申请号 CN201810065672.9 申请日 -
公开（公告）号 CN108257898A 公开（公告）日 2018-07-06
申请公布号 CN108257898A 申请公布日 2018-07-06
分类号 H01L21/673;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 于洋;胡荣亮;和江变 申请（专利权）人 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司
代理机构 北京律智知识产权代理有限公司 代理人 阚梓瑄;郜文刚
地址 010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种修补破损的石墨舟叶片的方法，包括：将发生破损的石墨舟的叶片卸下；在破损的叶片上设定一修补区域；沿着修补区域切割掉破损部位，利用修补工具在报废石墨舟的叶片上截取待用部分，该待用部分与切割后的待修补的部位能够拼合为一个完整叶片并装配在石墨舟，然后在夹舟装具上进行校准修复；或者，在报废石墨舟叶片上裁切补丁件，将补丁部件压盖固定在修补区域内的破损部位的裂纹的两侧，装配石墨舟，然后在夹舟装具上进行校准修改；清洗修补后的石墨舟并烘干；在修复后的石墨舟内插入假硅片，放入管式减反射薄膜沉积仪内，并运行镀膜工艺；按顺序取出假硅片，根据各位置处假硅片的减反膜情况，微调整修补部位位置。