管式化学气相沉积仪及其炉门装置
基本信息
| 申请号 | CN201721555866.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207685342U | 公开（公告）日 | 2018-08-03 |
| 申请公布号 | CN207685342U | 申请公布日 | 2018-08-03 |
| 分类号 | C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 和江变;邢智龙;于洋;张国文;周聪林 | 申请（专利权）人 | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 阚梓瑄;王卫忠 |
| 地址 | 010010内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区（沙尔沁镇） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种管式化学气相沉积仪及其炉门装置，炉门装置包括第一位移机构、第二位移机构以及炉门本体。第一位移机构包括第一导引件及第一滑动件。第一导引件固定于炉管且位于管口一侧，且沿垂直于管口所在平面的第一水平方向延伸。第一滑动件滑动设于第一导引件且由第一驱动件驱动。第二位移机构包括第二导引件及第二滑动件。第二导引件固定于第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸。第二滑动件滑动设于第二导引件且由第二驱动件驱动。炉门本体通过炉门支架固定连接于第二滑动件，炉门本体为实心结构。 |
