低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统

基本信息

申请号	CN201820160642.1	申请日	-
公开（公告）号	CN207883657U	公开（公告）日	2018-09-18
申请公布号	CN207883657U	申请公布日	2018-09-18
分类号	H01L21/223;H01L31/18	分类	基本电气元件;
发明人	和江变;张鸿飞	申请（专利权）人	内蒙古日月太阳能科技有限责任公司
代理机构	北京律智知识产权代理有限公司	代理人	内蒙古日月太阳能科技有限责任公司
地址	010010 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区(沙尔沁镇)
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及光伏电池制造技术，提出一种低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统，低压扩散通源装置包括：源瓶、进气管、出气管。源瓶用于储存掺杂源液；进气管第一端与惰性气源连接，第二端通过源瓶的进口伸入掺杂源液的液面以下；出气管第一端与低压扩散装置连接，第二端通过源瓶的出口伸入掺杂源液的液面以上；其中，出气管与进气管上分别设置有进气阀和出气阀，且进气阀与出气阀的开关状态相同。本实用新型通过将进气阀与出气阀的开关状态保持一致，一方面，避免了源瓶长期处于负压状态，降低了源瓶损坏的事故概率；另一方面，避免了在非通源状态下，源瓶内的掺杂源在负压作用下进入低压扩散装置，导致低压扩散装置内产品报废。