首页/ 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司/ 专利详情

物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法

基本信息

申请号 CN201410708186.6 申请日 -
公开（公告）号 CN104404626B 公开（公告）日 2017-06-16
申请公布号 CN104404626B 申请公布日 2017-06-16
分类号 C30B31/18(2006.01)I;C30B31/08(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 邹凯;和江变;郭凯华;郭永强;孟德龙;宗灵仑;李健 申请（专利权）人 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司
代理机构 北京律智知识产权代理有限公司 代理人 于宝庆;吴娅妮
地址 010111 内蒙古自治区呼和浩特市如意开发工业新区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括，1)将清洗制绒后的硅片进行第一恒温热处理；2)将经步骤1)处理后的硅片进行第二恒温热处理；3)将经步骤2)处理后的硅片进行氧化处理；4)向步骤3)处理后的硅片通磷源进行磷扩散处理；5)将经步骤4)处理后的硅片进行退火处理。本发明的扩散方法应用于物理冶金硅太阳电池制备中，可节约成本，提高产能，所形成的PN结，表面杂质浓度低，杂质分布均匀，扩散均匀性好，减小了死层效应，有利于电子的收集，降低了太阳能电池因复合造成的效率损失，从而提高了电池片的最终光电转换效率。