一种小电容导向整流管的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202010489856.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111640670A | 公开（公告）日 | 2020-09-08 |
| 申请公布号 | CN111640670A | 申请公布日 | 2020-09-08 |
| 分类号 | H01L21/329(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李勃纬 | 申请（专利权）人 | 朝阳微电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朝阳微电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 122000辽宁省朝阳市龙城区文化路五段105 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种小电容导向整流管的制造方法，所述制造方法通过高阻外延材料、减少芯片有源区面积和重金属掺杂进一步减少结电容，所述制造方法包括以下步骤，硅片清洗、一次氧化、隔离截止环光刻、隔离区离子注入、再分布、主结光刻、磷扩散、铂扩散、光刻引线孔、正面金属化、反刻铝、PECVD淀积、氮化硅光刻、等离子刻蚀、背面减薄、背面金属化和芯片贮存。该小电容导向整流管的制造方法，具有面积小，电容小，抗浪涌电流能力强，可靠性高等优点，可以广泛应用于各种环境和质量等级要求。 |
